Die LEGEX-Serie, ultrahochpräzise CNC 3-Koordinatenmessgeräte.
Eine feste Brückenkonstruktion sorgt für geometrische und kinematische Genauigkeit, die Kombination mit Präzisions-Luftlager und die mit Keramik beschichteten Führungen sorgen für deutlich verbesserte Gleiteigenschaften, überragende Bewegungsstabilität und ultrahohe geometrische
Genauigkeit.

Die in der Nähe der Achsenschwerpunkte angeordneten Antriebsysteme führen zur drastischen Reduzierung von Trägheitsmomenten bei Beschleunigung und Verzögerung, ermöglichen so hohe Präzision bei enormen Verfahrgeschwindigkeiten. Das optoelektronische Längenmesssystem aus kristallisiertem Glas mit einem Ziffernschrittwert von 0,01 µm und äußerst geringem Ausdehnungskoeffizienten sorgen für hohe stabile Präzision im Temperaturbereich von 18 ºC bis 22 ºC.

• Dank einer lückenlosen Analyse aller eventuell Fehler verursachenden Faktoren sowie deren Beseitigung oder Minimierung, ist eine Längenmessabweichung ab 0,28 µm möglich
• Ultrahochgenaue Präzisions-Glasmaßstäbe mit einem Ziffernschrittwert von 0,01 µm und einem extrem niedrigen Ausdehnungskoeffizient von 0,01x10-6 K an jeder Achse
• Ein fester Brückenaufbau, extrem steife Führungen und Präzisionsluftlager ermöglichen eine ausgezeichnete Bewegungsstabilität und eine ultrahohe geometrische Genauigkeit
• Neuer Controller mit SMS-Funktionalität (Smart Measuring System)
• Vorbereitet für ein breites Spektrum von Messköpfen, einschließlich dem hochpräzisem
  Scanning-Messkopf MPP310Q von Mitutoyo